ㆍ특허명 : 적층시트 연마방법 및 이를 수행하는 적층시트 연마장치(Laminated sheet polishing method and apparatus performing the same)
ㆍ요 약
발명은 적층시트 연마방법 및 이를 수행하는 적층시트 연마장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 연마대상시트를 적층하여 연마하는 연마방법 및 장치에 관한 것이다.
본 발명은 복수의 연마대상시트(40)들이 높이방향을 적층방향으로 적층 되어 길이(L), 폭(W) 및 높이(H)를 가지는 연마대상블록(40)을 연마하는 적층시트 연마방법으로서, 상기 연마대상블록(40)의 적층방향과 평행한 측면을 상기 적층방향에 평행한 회전축을 중심으로 하는 상대회전에 의하여 연마하는 제1가공단계와, 상기 제1가공단계 후에, 상기 연마대상블록(40)의 측면을 상기 적층방향에 수직한 상대선형이동에 의하여 연마하는 제2가공단계를포함하는 것을 특징으로 하는 적층시트 연마방법을 개시한다.